Das DektakXT® Oberflächen-Profilometer ist ein hochentwickeltes Gerät und mit einer kompletten Messungs- und Analysesoftware ausgestattet (Vision64). Damit lassen sich Schichtdicken und Stufenhöhen dünner und dicker Schichten messen. Das DektakXT®-System ist außerdem in der Lage die Oberflächentopografie und -welligkeit, sowie die Rauigkeit einer Oberfläche, bis in den Nanometerbereich zu erfassen. Zusätzlich zu den Messungen zweidimensionaler Oberflächenprofile lassen sich auch dreidimensionale Analysen durchführen.

Das DektakXT® Oberflächen-Profilometer führt die Messungen elektromechanisch durch, indem es den Taststift mit Diamantspitze über die Probenoberfläche bewegt. Die Scanlänge, Geschwindigkeit und Tastkraft des Stifts kann dabei vom Benutzer individuell gewählt werden. Der Taststift ist dabei mit einem linearen variablen Differenzialtransformator (LVDT) verbunden, der elektrische Signale erzeugt und verarbeitet, die den Oberflächenveränderungen der Probe entsprechen. Nach der Umwandlung in ein digitales Format werden die gemessenen Oberflächenveränderungen zur Anzeige gebracht und lassen sich mittels des inkludierten Softwarepakets "Vision64" charakterisieren und auswerten.

Weitere Informationen finden sich auf der Website des Herstellers, www.bruker.com/de.html, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster.