Lehrveranstaltungen

2h WS, LVA Nr.: 138.030
Kataloge: Bachelor TPH, Master TPH D, Master MW
Dr. Christoph Eisenmenger-Sittner
christoph.eisenmenger@ifp.tuwien.ac.at

Inhalt:

  • Einführung
  • Beschichtungsverfahren

                    Thermisches Verdampfen

                    Sputtern (Kathodenzerstäubung)

                    Reaktive und Hybridverfahren

                    Elektrochemische Verfahren

                    Industrielle Verfahren

  • Charakterisierung und Anwendungen dünner Schichten

                    Schichtdickenbestimmung

                    Strukturzonendiagramme und Mechanische Eigenschaften

                    Oberflächenvergütung

                    Elektrische und Elektronische Anwendungen

                    Optische Anwendungen

  • Aktuelle Themenstellungen und Probleme

 

Zu dieser Vorlesung steht ein Skriptum auch in Form von pdf-Files zur Verfügung:

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KAPITEL 1 - Einleitung, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster
KAPITEL 2 - Beschichtungsverfahren, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster
KAPITEL 3 - Theorie der Schichtbildung, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster
KAPITEL 4 - Charakterisierung Dünner Schichten, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster
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Weiters stehen die Präsentationsfiles zur Vorlesung als pdf-Files zur Verfügung:

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2h SS, LVA Nr.: 138.032
Kataloge: Master TPH C,D, Master EMT, B
Dr. Christoph Eisenmenger-Sittner
christoph.eisenmenger@ifp.tuwien.ac.at

Inhalt:

  • Einführung
  • Physik der Beschichtungsverfahren

                    Vakuumphysik

                    Designkriterien für Vakuumanlagen

                    Physikalische Grundlagen der Aufdampfverfahren

                    Physikalische Grundlagen der Sputterverfahren

  • Kondensation dünner Schichten

                    Einkristalline Oberflächen

                    Elementarprozesse an Oberflächen

                    Nukleationstheorie

                    Ratengleichungen

                    Kinetische Monte Carlo Simulation

  • Grundlagen der Dünnschichtphysik

                    Charakterisierung stochastischer Oberflächen

                    Strukturzonen und mechanische Eigenschaften

                    Elektrische Eigenschaften

                    Magnetische Eigenschaften

                    Optische Eigenschaften

 

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KAPITEL 2 - Beschichtungsverfahren, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster
KAPITEL 3 - Theorie der Schichtbildung, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster
KAPITEL 4 - Charakterisierung Dünner Schichten, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster
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2h, WS oder SS; LVA Nr.: 138.035
Kataloge: Master TPH C, D, Master EMT B
Dr. Christoph Eisenmenger-Sittner
christoph.eisenmenger@ifp.tuwien.ac.at, öffnet in einem neuen Fenster

2h, WS oder SS; LVA Nr.: 138.071
Dr. Christoph Eisenmenger-Sittner
christoph.eisenmenger@ifp.tuwien.ac.at, öffnet in einem neuen Fenster

Projektarbeiten:

Für ein spezifisches Projektarbeitsthema kontaktieren Sie mich bitte. Eine typische Projektarbeit dauert ca. 2 Monate und kann jederzeit begonnen werden. Falls sich ein drängendes Projektarbeitsthema ergibt, so wird es hier gepostet.

Diplomarbeiten und Dissertationen:

Für ein spezifisches Diplomarbeits- oder Dissertationsthema kontaktieren Sie mich bitte. Zögern Sie auch nicht, ein persönliches Thema vorzuschlagen, sofern dieses mit Dünnschichttechnologie im Zusammenhang steht.