Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat. Ulrich Schmid

Ulrich Schmid begann 1992 sein Studium der Physik und Mathematik. Seine Diplomarbeit führte er in den Forschungslabors der Daimler-Benz AG über die elektrische Charakterisierung von mikroelektronischen Bauelementen aus Siliziumkarbid für Hochtemperaturanwendungen durch. 1999 trat er in die Forschungslabore der Daimler-Chrysler AG (heute Airbus Group) in Ottobrunn/München ein. Er entwickelte einen robusten Kraftstoffeinspritzratensensor für Dieselmotoren in Kraftfahrzeugen und promovierte 2003. Von 2003 bis 2008 war er Post-Doc am Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktoren der Universität des Saarlandes. Seit Oktober 2008 ist er ordentlicher Professor für Mikrosystemtechnik an der TU Wien.

Forschungsschwerpunkte

PiezoMEMS

PiezoMEMS Sensor eingeklebt in einem Keramikpackage mit zwei Siliziumbalken mit Elektroden

© Dr. Georg Pfusterschmied

Auf dem piezoelektrischen Effekt basierende MEMS Bauelemente weisen viele Vorteile gegenüber kapazitiven oder thermischen Wandlungsprinzipien auf. Da der Effekt jedoch typischerweise sehr gering ist, liegt eine große Herausforderung darin, Bauelemente zu entwickeln, welche dennoch hinreichend mit ihrer Umgebung interagieren können.

Modellierung und Simulation

Simulation der Fluidbewegung um einen schwingenden Balken

© Andre Loch Gesing

Simulationen sind aus dem Designprozess moderner MEMS/NEMS-Strukturen nicht mehr wegzudenken. Die Größenstrukturen von MEMS/NEMS-Devices verhindern oft den Einsatz von numerischen Standardmethoden. Wir nutzen moderne Methoden der Numerischen Mathematik zur Entwicklung von für MEMS/NEMS maßgeschneiderte Simulationsmethoden. Ein Schwerpunkt unserer Arbeit ist die Kopplung von MEMS/NEMS-Devices und ihrer Umgebung. Hier spielen besonders fluidische Interaktionen eine wichtige Rolle für viele Anwendungen.

SiC Technologie

Frau in Reinraumkleidung beim Hantieren einer Siliziumkarbid Probe

© Dr. Georg Pfusterschmied

Siliziumkarbid-basierte elektronische Bauelemente sind auf der Überholspur!

In Mikroheizern für hochtemperatur Gassensoren oder in verlustarmen leistungselektronischen Komponenten in Schnellladestationen für Elektroautos ist Siliziumkarbid kaum noch wegzudenken. 

Das Team rund um Dr. Georg Pfusterschmied und Dr. Markus Leitgeb leistet dabei einen etnscheidenten Beitrag indem sie in den Reinräumen der TU Wien an neuartigen Bauelement-Konzepten sowie Technologien für eine resourceneffiziente Verwertung dieses High-Tech Werkstoffes forschen.