Laufende Forschungsprojekte

CDL-SIC

Frau in Reinraumkleidung beim Hantieren einer Siliziumkarbid Probe

© Dr. Georg Pfusterschmied

CD-Labor für Nachhaltige Siliciumcarbid Technologie

POWERELEC

Elektrischer Nadel-Messaufbau

© Dr. Georg Pfusterschmied

Metrologie in der Herstellung von Verbundhalbleitern für leistungselektronische Bauelemente

RESONANCE

Mehrere, drei-dimensionale Darstellungen von Teststrukturen sowie zwei-dimensionale Darstellungen einer Mikrostruktur

© Daniel Platz, PhD

Polykristalline Hochleistungsmaterialien für die nächste Generation von taktgebenden MEMS Oszillatoren.

SICMICROHEATER

Eine Mikroskopaufnahme eines Mikroheizers mit offener Membran

© Philipp Moll

Neuartige Mikroheizer auf der Basis von polykristallinem 3C-SiC

Abgeschlossene Forschungsprojekte

LOWLOSSMIRROR

Querschnitt eines elektronischen Filter mit Bandpass-Charakteristik

© Claudio Berger

Niederimpedante Siliziumoxikarbid-Schichten für elektroakustische HF Filter