Der Forschungsbereich Mikrosystemtechnik am  Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme beschäftigt sich mit der Modellierung, Simulation, sowie der Herstellung und der Charakterisierung von komplexen dreidimensionalen Strukturen und MEMS Bauelementen, wie z.B. Sensoren, Aktuatoren, Energy Harvestern und kompakten Energiespeichern. Unser Ziel ist es innovative Bauelementekonzepte auf Basis unseres fundierten Material- und Technologiewissens sowie unserer langjährigen MEMS Designkompetenz zu entwickeln , für neue Anwendungsgebiete nutzbar zu machen und hinsichtlich ihrer Robustheit, Zuverlässigkeit und Flexibilität zu optimieren.