Im MEMS Measurement Lab werden vielfältigste Untersuchungen hinsichtlich Materialanalysen und der Charakterisierung von MEMS Bauelementen durchgeführt. Dafür steht eine unfangreiche und moderne Ausstattung zur Verfügung.

Ein Einblick...

Waferprober

Wafer Probestation mit Mikroskop und elektrischer Messtechnik

© Michael Schneider

Wafer Probestation

DLTS

DLTS Messsystem mit Vakuumkammer und Steuerung

© Michael Schneider

Deep Level Transient Spectroscopy

SAW/BAW

Probestation für Hochfrequenzanwendungen

© Michael Schneider

Hochfrequenzmesstechnik für SAW/BAW

AFM

Atomic force microscope mit Messkopf

© Michael Schneider

Atomic Force Microscope

MSA

Optischer Messkopf eines Laser-Doppler-Vibrometers auf einem optischen Tisch mit Vakuumkammer

© Michael Schneider

Mikrosystemanalysator mit Laser-Doppler Vibrometer

Impedanzanalysator

Impedanzmessgerät mit Bildschirm

© Michael Schneider

Impedanzspektrum von MEMS Bauelementen

REM

Rasterelektronenmikroskop mit Vakuumkammer mit Elektronenoptik

© Michael Schneider

Rasterelektronenmikroskop

Effussionsmessplatz

Vakuumkammer mit Sichtfenster, Turbopumpe und Massenspektrometer

© Michael Schneider

Temperaturabhängiges Ausgasen