Das XRF Spektrometer ist einer Vollschutzanlage gleichwertig und besteht aus einem Röntgengenerator, einem Bedienelement für Statusanzeige und Röhrenfenster-/Shuttersteuerung, sowie einer durch Interlock abgesicherten Einhausung für den Messaufbau, in der sich Strahlenquelle, Monochromator, Röntgenoptik, Probe und Detektor befinden. Die Probe befindet sich auf einem motorisierten Objekttisch. Die Strahlenquelle im Standardbetrieb ist eine wassergekühlte Feinfokus Röhre mit Molybdänanode, 2 kW Maximafflleistung und max. 60 kV Betriebsspannung