Atomica 8300W-System ist ein kommerzielles TXRF-Spektrometer, das für die Kontaminationskontrolle von Waferoberflächen für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es kann Elemente von Kalium bis Blei nachweisen. Die Nachweisgrenzen liegen je nach interessierendem Element im Bereich von 1010 Atomen/cm2. Das System kann mit Wafern von 100 mm bis 300 mm arbeiten. Auf der Waferoberfläche ist eine ortsaufgelöste Messung mit einer Auflösung von 7mm möglich. Die Probe kann mit Mo-Kα aus einer 3-kW-Mo-Röntgenröhre angeregt werden. Die Monochromatisierung erfolgt mit einem Doppel-Multilayer-Monochromator. Das Fluoreszenzsignal wird mit einem Si(Li)-Detektor detektiert. Um die Streustrahlung zwischen Probe und Detektor zu reduzieren, kann die normale Luft durch Helium verdrängt werden. Die Probenhandhabung wird mithilfe eines Roboters automatisiert.

Das Spektrometer is in Reinraumumgebung platziert, um zusätzliche Kontaminationen zu vermeiden. Für dieses Spektrometer gab es die Akkreditierung nach ISO 17025, die aber nicht mehr gültig ist.