Das Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen (ZMNS) wird sowohl für Forschungs- als auch für Lehrzwecke genutzt. Es bietet ein hochmodernes Umfeld für die Lehre der grundlegenden Techniken, die zur Herstellung neuer Halbleiterbauelemente verwendet werden. Das Hauptziel der Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten ist der Transfer innovativer Ideen von der Grundlagenforschung zu Bauelementekonzepten. Es wird eine enge Zusammenarbeit mit der Industrie und internationalen Forschungseinrichtungen gepflegt, um neue Produktideen für mikro- und optoelektronische Anwendungen zu fördern. Das Zentrum verfügt über eine breite Palette von Geräten für die Verarbeitung, Materialzucht und Prüfung. Als solches ist es von großem Wert für eine Vielzahl von Disziplinen und eine Basiseinheit für Industrie- und Forschungsaktivitäten in Österreich.